晶圓測試基本的一點就是:晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞,并使合格芯片繼續(xù)進(jìn)入下面的封裝工藝。為了確保芯片功能和成品率的有效測試,封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索,進(jìn)而找到高精度、高效率和低成本的測試方法,并運用新的組裝工藝要求對晶圓片進(jìn)行探測,這些要求將引起設(shè)備和工藝過程的重大變化。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動,從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。探針臺可以把卡上的線路和芯片的結(jié)合焊盤連起來。青海手動探針臺配件廠家
探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現(xiàn)被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。青海手動探針臺配件廠家上海勤確科技有限公司優(yōu)良的服務(wù)隊伍、完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)及強大的合作伙伴。
x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。
平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進(jìn)精度及使用壽命,對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,整個過程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性,不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,清理時應(yīng)先通入大氣以便動子移動,方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇,輕擦定子表面,然后用專門工具撬起動子,方法同前,輕擦動子表面,動子的表面有若干個氣孔,它是定子和動子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均勻,否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。探針卡上有細(xì)小的金屬探針附著,通過降低探針高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸。
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。經(jīng)濟手動型根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);X-Y移動行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuckZ軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān);可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。如果是不合格的芯片,打點器立刻對這個不合格的芯片打點。江蘇手動探針臺
探針卡常見故障分析及維護方法:芯片測試是IC制造業(yè)里不可缺少的一個重要環(huán)節(jié)。青海手動探針臺配件廠家
晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進(jìn)行引用:晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設(shè)備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。青海手動探針臺配件廠家